TY - THES AU - Schlegel, Peter T1 - Kühlsystem zu einem Zerstäubungsprozess DA - 2003 CY - Chur PB - Hochschule für Technik und Wirtschaft HTW Chur A3 - Schmid, Walter AB - Die Diplomarbeit befasst sich mit der Auslegung einer Kühlplatte, die bei einem Zerstäubungsprozess (Sputtern) im Vakuum zum Einsatz kommt. Die Aufgabe bestand darin, alle relevanten Daten bezüglich des thermischen und strömungstechnischen Verhaltens zu liefern. Im Vordergrund stand die Abklärung, ob die Indium (In) Lotverbindung zwischen Kühlplatte und dem Zerstäubungsmaterial (Target) den thermischen Belastungen standhält. Zur Beantwortung dieser Frage wurde ein analytisches Modell der radialen Temperaturverteilung über den Kühlplattenquerschnitt modelliert. Die berechneten Ergebnisse wurden anschließend mittels Simulation (FEM) verglichen. Die Daten aus den Berechnungen und den Simulationen führten zur Entwicklung eines Prototypen. Um das reale Verhalten des Bauteils zu studieren, entschied man sich, Temperaturmessungen mit neun Thermoelementen, die in die Kühlplatte eingelötet waren, durchzuführen. Das Eintragen der Wärmeenergie auf die Kühlplatte wurde mit einem Dampfkanal realisiert. Die Messungen wurden in der Firma Ems- Chemie im Labor der HTW Chur durchgeführt. Auskunft geben die Messdaten über die eingetragene Energie und die über Wärmeleitung durch die Kühlplatte dem Kühlkanal zugeführte Energie. Ferner konnten durch die Anordnung der Thermoelemente pro Einstellung der Dampf und Kühlwassermenge je drei radiale Temperaturprofile aufgenommen werden. Mit den gesammelten Daten wurden Arbeitspunkte für die Kühlplatte bestimmt, die Auskunft darüber geben, welche Kühlwassermenge erforderlich ist bei einem entsprechenden Energieeintrag. M3 - Diplomarbeit Prozess- und Anlagetechnik M4 - Citavi ER -